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Polycold 水汽捕集泵的工作原理
發(fā)布時間:2014-11-15 瀏覽:  次

 polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵 (Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低溫盤管(Cryocoil)的超低溫表面上凝結(jié),從而達(dá)到捕集水汽的目的。

機(jī)   冷媒送管    凍連頭    空腔壁   界面
 
 
機(jī)   冷媒送管  空控制   凍盤 E  
 
 

A. 冷媒流回口#1      
B.冷媒流出口#1    
C.集中孔
D. 各段示及切
E. 統(tǒng)控制模修相關(guān)問題
F. 除霜/待機(jī)/功能開關(guān)
G. 置放
H. 規(guī)格牌
I.接口,可進(jìn)控控制
J.開關(guān),當(dāng)OFF(O)位置,主源切
K.冷媒及Pump接口
L.冷卻水進(jìn)、出接口
M. 壓縮機(jī)高低開關(guān)
N.冷媒流回口#2(第二)
O.冷媒流出口#2(第二)
P. 除霜/待機(jī)/功能開關(guān)(第二)
Q. Low voltage box 電壓
R. High voltage box 電壓

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